半導體制造行業RFID解決方案
半導體制造行業信息化需求:
隨著我國半導體產業近幾年的迅速發展以及國家政策的大力支持,半導體產品國產替代化進程逐步加快,取得了不錯的發展成就。半導體制造業是一個典型的技術密集型的科技制造行業,其生產工藝的復雜性和精確性,要求半導體制造業對生產過程需要實施更加精細化的管理,所以建立一個完整的MES系統,是企業發展的必要條件。
半導體制造企業在車間生產制造過程中面臨生產過程不透明、現場信息反饋不及時、設備運行狀態監控難等諸多痛點,大多數企業渴望通過智能化升級加強對生產過程的管理。
安奈特RFID+解決方案:
以符合半導體行業標準的低頻工業RFID識別產品為信息載體,幫助半導體Loadpord設備(EFME模塊設備),天車,FOUP存儲貨架等信息化提供一整套應用解決方案。
1 半導體行業中loadpord設備(即EFEM模塊設備)RFID應用場景:
半導體行業的12寸晶圓盒的生產,均采用自動化天車的搬運,為了快速實現晶圓盒的搬運準確性,以及追蹤工序進度。半導體車間的FOUP上會植入一枚TI載碼體,在Loadpord設備上安裝一臺符合支持標準工業半導體 HSMS(或者Modbus TCP)、標準工業半導體 SECS(或者Modbus RTU)、還支持 1 和 N 協議的分體式低頻讀卡器,用于識別FOUP上的TI載碼體。
2 半導體行業中天車設備RFID應用場景:
鑒于12寸晶圓盒非人力所能搬動,需要自動化天車設備搬運12寸晶圓盒,天車的運動軌跡需要半導體內部車間的MES系統(天車調度系統)控制,故需要實時調度天車和天車的有效路徑,需要在天車安裝一臺分體式低頻讀卡器,用于識別FOUP上的TI載碼體,后臺管理系統可快速調度天車的下一步工序路徑。
3 半導體FOUP存儲貨架的RFID應用場景:
半導體晶圓盒內部的產品信息會與內嵌的TI載碼體在后臺系統實時關聯,FOUP存放在倉庫貨架時,貨架安裝低頻多通道讀寫器,將實時監控到每個貨架上存儲的FOUP的信息,以及倉庫中FOUP的數量等信息上傳到后臺MES管理系統,可快速知曉整個半導體倉儲貨架的庫存情況。
安裝與應用示意圖:
使用安奈特低頻讀卡器與TI載碼體: